Werkstoff
FFKM
Temperatur
-15 … 320 °C
Varianten
362
Parker compound FF366-75 is a black, high temperature, ultra-high purity perfluorinated elastomer designed for general use in semiconductor manufacturing including deposition and applications demanding low metallic ion content and extreme cleanliness. FF366-75 seals resist compression set and offer temperature resistance up to 320°C/608°F.
Chemical Resistance:
- Standard and other common cleaning chemistries
- Plasma mixtures
- Aliphatic hydrocarbons (propane, butane, natural gas)
- Aromatic hydrocarbons (benzene, toluene)
- Chlorinated hydrocarbons (trichloroethylene and carbon tetrachloride)
- Polar solvents (acetone, methylethylketone, dioxane)
- Inorganic and organic acids, bases (under appropriate temperatures)
- Water and steam (under appropriate temperatures)
- Wet/dry chlorine
- High vacuum – low permeability
*Custom sizes and designs are available upon request. Contact Parker O-Ring & Engineered Seals Division at 859-269-2351 for design and pricing assistance.
Technische Daten
Werkstoff
- Farbe
- Black
- Compound
- FF366-75
- Härte
- 75 Shore A
- Fluidtyp
- Ultra Broad Range
- Werkstoff
- FFKM
Einsatzgrenzen
- Betriebstemperatur
- -15 … 320 °C
Einsatz & Normen
- Branchen
- SemiConductor
- Herkunftsregion
- North America
Einsatzprofil
Temperatureinsatz
Werkstoffoptionen
Verfügbare Artikel
362 Artikelnummern
- FF366 2-001
- FF366 2-002
- FF366 2-003
- FF366 2-004
- FF366 2-005
- FF366 2-006
- FF366 2-007
- FF366 2-008
- FF366 2-009
- FF366 2-010
- FF366 2-011
- FF366 2-012
- FF366 2-013
- FF366 2-014
- FF366 2-015
- FF366 2-016
- FF366 2-017
- FF366 2-018
- FF366 2-019
- FF366 2-020
- FF366 2-022
- FF366 2-023
- FF366 2-024
- FF366 2-025
- FF366 2-026
- FF366 2-027
- FF366 2-028
- FF366 2-029
- FF366 2-030
- FF366 2-031
- FF366 2-032
- FF366 2-033
- FF366 2-034
- FF366 2-035
- FF366 2-036
- FF366 2-037
- FF366 2-038
- FF366 2-039
- FF366 2-040
- FF366 2-041
- FF366 2-042
- FF366 2-043
- FF366 2-044
- FF366 2-045
- FF366 2-046
- FF366 2-047
- FF366 2-048
- FF366 2-049
- FF366 2-050
- FF366 2-102
- FF366 2-103
- FF366 2-104
- FF366 2-105
- FF366 2-106
- FF366 2-107
- FF366 2-108
- FF366 2-109
- FF366 2-110
- FF366 2-111
- FF366 2-112
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